Ist den atomspektroskopischen Methoden der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung zugeordnet. Im Gegensatz zu Prüfverfahren, welche die Emission oder Absorption ausnutzen, basiert diese Methode auf der Fluoreszenz. Bei der Röntgenfluoreszenzanalyse wird das Elektron durch Röntgenstrahlen angeregt.

s. Fluoreszenz