Interstitielle Atome, auch als Einlagerungsatome bezeichnet, sind kleine Atome, die Zwischengitterplätze in einem Metallgitter einnehmen können, bspw. C-Atome in einem Eisengitter. Dieser Mechanismus funktioniert, solange das Verhältnis der Atomdurchmesser kleiner als 0,41 ist (z.B. C/Fe < 0,41). Das Resultat wird als Einlagerungsmischkristall oder auch als interstitieller Mischkristall bezeichnet.