Durch chemische Dampfabscheidung im Plasma (PCVD-Verfahren) erzeugte Oberflächen zeichnen sich durch hohe Festigkeit gegenüber jeglicher Art von Verschleiß (abrasiv, adhäsiv, Reibkorrosion, Ermüdungsverschleiß) aus. PCVD-Beschichtungen wie die Hartstoffbeschichtungen TiN, Ti(B; N), TiB2, TiN-Ti(B; N)-TiB2-Ti(B; N) erhöhen die Standzeit von Teilen wie Fräser, Gewindeschneider, Gleit- und Kugellager, Schneidteilen, Spritzgieß- und Umformwerkzeugen, Pumpen, Ventile etc.; mit dem PACVD-Verfahren können auch diamantähnliche Kohlenstoffschichten (a-C:H:X, X steht für die zusätzlich eingebrachten Elemente, z.B. Si, O, F) aufgebracht werden.

s. PACVD-Verfahren
s. PCVD-Verfahren
s. Verschleiß