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Nach DIN EN ISO 4288 wird die Rauheit an Werkstückoberflächen geprüft. Zur Ermittlung der Rauheit ist aus wirtschaftlichen Gründen nur eine geringe Zahl von Einzelmessungen durchzuführen. Dabei soll nach folgender Reihenfolge verfahren werden:

1. Sichtprüfung: soll aufgrund eines Gesamteindruckes bereits eine Grobausscheidung von Werkstücken mit Fehlern, wie Rissen, Rillen, Poren usw. ermöglichen.

2. Sicht- und/oder Tastvergleich: erfolgt nach Oberflächenvergleichsmustern nach DIN 4769 Teil 1-4.

3. Rauheitsmessungen mit elektrischen Tastschrittgeräten nach DIN EN ISO 4288. Diese Geräte erfassen die Gestaltabweichung der Oberfläche mit einer Diamant-Tastspitze. Die erfassten Messwerte werden an das Anzeigegerät oder dem Profilschreiber weitergeleitet.

Zur Überprüfung der 0. definiert die Norm DIN EN 10221 vier Oberflächengüteklassen. Zerstörungsfreie und technologische Prüfungen zur Ermittlung von Oberflächenfehlern sind darin angegeben. Weitere Richtlinien zur Oberflächenbeschaffenheit enthalten DIN EN 10021 und 10163-1 bis-3.

Die Güte technischer Oberflächen wird durch die Begriffe "Welligkeit" (größere Abweichungen) und "Rauheit" (kleinere Unregelmäßigkeiten) gekennzeichnet. Folgende Rauheitsmessgrößen werden nach DIN EN ISO 4288 festgelegt: Mittenrauhwert Ra ist der arithmetische Mittelwert aller Abstände des Profils von der Mittellinie. Die gemittelte Rauhtiefe Rz stellt das arithmetische Mittel aus den Einzelrauhtiefen von fünf aufeinander folgenden Einzelstrecken dar. Maximale Rauhtiefe R_max ist die Größe der auf der Messstrecke vorkommenden Einzelrauhtiefe.

s. Riss